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            2. 聚焦于微電子行業 · 新能源組件 · 汽車零部件行業 激光微細切割 · 鉆孔 · 蝕刻 · 劃片 · 開槽 · 微細結構應用 高功率激光焊接 · 清洗 · 熔覆
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              金屬薄膜蝕刻系統
              網站首頁 > 皮秒激光微細加工系統 > 金屬薄膜蝕刻系統

              超大幅面激光蝕刻機
              超大幅面激光蝕刻機
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              • 應用

              型號:SC-K1200


              激光蝕刻銀漿&ITO極細線寬3D檢測報告:

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              行業應用:

              1、 100寸超大尺寸工業&教學用電阻式、電容式觸摸屏銀漿&ITO線路蝕刻,其他可蝕刻材料為金屬網格 納米銀 石墨烯 。

              2、 ITO及各類金屬導電膜線路激光蝕刻。

              3、 PCB薄膜電路光刻掩膜板激光蝕刻成型。

              4、太陽能光伏硅基板薄膜電路蝕刻。


              機器優點:

              1、激光蝕刻為干式蝕刻,加工制程簡單,所有加工均由軟件自動控制,產品一致性高,良率高達99%。

              2、最小蝕刻線寬20μm,支持銀漿線路和ITO一次性同時蝕刻,輕松實現單層多點電容屏sensor線路蝕刻。

              3、支持CCD視覺自動尋靶,一次性可加工 2850mm×1300mm范圍,拼接精度±5mm, 非常適合大屏幕銀漿或導電氧化物薄膜線路蝕刻。

              4、支持多種視覺定位特征,500萬像素單點抓靶時間小于1秒鐘,克服了印刷變形過大導致激光蝕刻偏位的問題,定位精度±3μ.

              5、激光蝕刻機5萬小時無耗材,免維修,使用成本低,替代黃光制程。



              技術規格參數

              序號項目技術參數
              光學單元
              1激光器類型1064nm 納秒或皮秒可選
              2激光功率20W
              3光束質量M2<1.3
              4聚焦方式&加工頭數平場聚焦鏡、單頭
              5最小聚焦光斑直徑

              Ф15μm

              激光加工性能
              6加工速度1000~4000mm/s可調
              7最小蝕刻線寬20μm
              8蝕刻線寬精度±5μm
              9激光單次最大工作范圍

              130mm×130mm,20μ線寬

              170mm×170mm,35μ線寬

              10激光蝕刻最大工作范圍2.85m×1.3m任意自動拼接
              11激光蝕刻線路拼接精度≤±5μm
              機械單元
              12機床結構立柱&龍門式
              13機床運動軸數&種類 最多8軸,  X,Y,  Z, & θ軸
              14平臺最大行程&速度2.85m×1.3m,800mm/s
              15運動平臺重復精度≤±1μm
              16運動平臺定位精度≤±4μm
              軟件控制單元
              17激光加工&平臺控制Strongsoft, Strongsmart
              18加工文件導入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
              19CCD視覺定位軟件 AISYS Vision
              20CCD視覺定位精度≤±3μm
              電氣單元
              21真空系統真空發生器
              22 除塵&集塵系統離心式風機
              安裝環境
              23整機供電&穩壓器功率220V\380V,6KW
              24壓縮空氣壓強≥0.6MPa
              25無塵室等級10000
              26地面承重2T/m2







              事業部負責人:


              昌先生 18617211710


              李先生 18666495767


              楊先生? 13751468572?



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              事業部負責人:


              昌先生 18617211710


              李先生 18666495767


              楊先生? 13751468572?



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