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            2. 聚焦于微電子行業 · 新能源組件 · 汽車零部件行業 激光微細切割 · 鉆孔 · 蝕刻 · 劃片 · 開槽 · 微細結構應用 高功率激光焊接 · 清洗 · 熔覆
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              微細精密切割鉆孔系統
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              高速激光微細鉆孔系統
              高速激光微細鉆孔系統
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              • 應用

              型號:SLDr-8070i


              鉆孔樣品:Dmin=Φ10μm  Speed=2000holes/s T=100μm

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              行業應用:

              1、PCB行業HDI鉆孔

              2、貼片電感陶瓷鉆孔

              3、半導體微電子行業TSV工藝微細鉆孔

              4、發動機噴油嘴鉆孔


              機器優點:

              1、采用皮秒激光器,超短脈沖加工無熱傳導,適于陶瓷薄膜材料的高速鉆孔。

              2、采用單激光器雙光路分光技術,雙激光頭加工,效率提升一倍。

              3、鉆孔速度高達2000holes/s,最小孔徑10μm,真圓度95%以上,小孔邊緣光滑無毛刺。

              4、CCD視覺預掃描&自動抓靶定位、最大加工范圍650mm×450mm 、XY平臺拼接精度≤±3μm。

              5、支持多種視覺定位特征,如十字、實心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點等。

              6、全自動上下料系統,無人操作。

              7、8年激光微細加工系統研發設計技術積淀、性能穩定、無耗材。


              皮秒激光微細鉆孔原理:

                    皮秒激光依靠自身極高的峰值功率,以單個脈沖累積或者多個脈沖螺旋運動的方式,短時間內向材料表面傳導了巨大的能量,使材料被瞬間熔化和蒸發。激光單脈沖能量越高,被氣化的材料就越多。在蒸發過程中,孔眼中的材料體積急劇膨脹,產生了很大的壓力,這個蒸氣壓力將變性的工件材料從孔眼中推出,并且因為激光脈寬為皮秒級,熱效應微乎其微,鉆孔圓度相對于CO?激光器更圓滑,邊緣更整齊。


              技術規格參數

              序號項目技術參數
              光學單元
              1激光器類型355、1064nm可選
              2冷卻方式恒溫水冷
              3激光功率10~100W
              4光束質量M2<1.3
              5聚焦方式&加工頭數平場聚焦鏡&雙頭
              6最小聚焦光斑直徑

              Ф8μm

              激光加工性能
              7加工速度單頭  2000孔/s
              8最小崩邊1.5μm
              9最大加工材料厚度0.5mm
              10最大加工尺寸&精度250mm×250mm,±3μm
              機械單元
              11機床結構龍門式
              12機床運動軸數&種類最多8軸,  X,Y,  Z, &θ軸
              13平臺最大行程&速度650mm×450mm
              800mm/s
              14運動平臺重復精度

              ±1μm

              15運動平臺定位精度±3μm
              軟件控制單元
              16激光加工&平臺控制Strongsoft, Strongsmart
              17加工文件導入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
              18CCD視覺定位軟件AISYS Vision
              19CCD視覺定位精度±3μm
              電器單元
              20PLC控制器Panasonic
              21真空系統真空泵
              22除塵&集塵系統專業粉塵過濾集成凈化機
              自動化單元
              23自動上下料系統X\Z軸+可移動上下料平臺
              安裝環境
              24整機供電&穩壓器功率220V\380V,5KW
              25壓縮空氣壓強

              0.6MPa

              26無塵室等級10000
              27地面承重 2T/m2
              28保護氮氣高純氮





              事業部負責人:


              陳先生18617227855


              王先生 18617211708


              E-mail:cy@stronglaser.com





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